北京中科慧仪科技有限公司(简称“中科慧仪”)是一家专注于半导体量检测核心模组研发和销售的高新技术企业。公司具备光电算控全栈技术,聚焦终端场景触达能力,为市场提供高精度、高效率的半导体量检测模组,致力于打破国外技术垄断、加速半导体产业国产替代进程。
中科慧仪推出的显微自动聚焦系统在半导体有图/无图晶圆检测、三代半化合物检测、关键尺寸测量及面板微裂纹检测等场景已实现批量出货;全系列干涉物镜、超高分辨率振镜相机及纳米级宽视场在线干涉测量仪也已推向市场。「中科慧仪」以“聚焦终端场景,专注高附加值产品”为目标,致力于成为全球领先的半导体量检测核心模组供应商。