●专为干涉成像优化设计
采用高精度波前控制光学系统,呈现高对比度干涉条纹,满足位移、轮廓及形貌等精密测量需求
●高 NA 与长工作距离兼顾
覆盖 5X‒100X 多倍率选型,兼具高分辨率与充足工作距离,适用于透明、半透明及高反射样品的非接触测量
●优异相位一致性
多层宽带增透膜处理,确保 400‒700 nm 波段高透过率与相位一致性
参数表
倍率 | 焦距(mm) | 工作距离(mm) | 齐焦距离(mm) | 连接螺纹 | 数值孔径 | 物方视场(mm) |
5X | 40 | 9.3 | 45 | RMS | 0.13 | Φ5 |
10X | 20 | 7.4 | 45 | RMS | 0.30 | Φ2.5 |
20X | 10 | 4.7 | 45 | RMS | 0.40 | Φ1.25 |
50X | 4 | 3.4 | 45 | RMS | 0.55 | Φ0.5 |
100X | 2 | 2.2 | 45 | RMS | 0.70 | Φ0.25 |
尺寸图