全系列干涉物镜

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干涉物镜横.jpg


物镜规格


倍率

焦距

(mm)

工作距离

(mm)

齐焦距离

(mm)

连接螺纹

数值孔径

物方视场

(mm)
5X
40
9.3
45
RMS
0.13
Φ5
10X
20
7.4
45
RMS
0.30
Φ2.5
20X
10
4.7
45
RMS
0.40
Φ1.25
50X
4
3.4
45
RMS
0.55
Φ0.5
100X
2
2.2
45
RMS
0.70
Φ0.25


实测效果

粗糙度测试                                 ➢形貌测试                                  ➢台阶测试


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外观尺寸

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品牌
中科慧仪
功能简介
■ 配套白光干涉仪,进行高精密3D形貌特征测量,精度可达nm级 ■ 拥有5X、10X、20X、50X、100X全套物镜系列 ■ 自主核心技术和国产化生产 ■ 干涉条纹对比度高,测量效果优 ■ RMS标准接口,安装便捷
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