显微自动对焦成像系统
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显微自动对焦成像系统
功能特性
■ 大视野显微系统，最大支持像方40mm, 适配8K/5um和65M相机
■ 高分辨率显微系统，物方最高分辨率可达0.4um
■ 集成同轴激光追焦系统，可实现对高速运动成像实时对焦
■ 可选配高速图像对焦系统，解决复杂背景情况下激光无法准确聚焦的问题
■ 同轴科勒照明，外接点光纤及高亮冷光源，可支持面阵相机曝光时间5us以内
■ 推拉式高精度切换器也可支持像方40mm大视野
■ 可定制暗场照明角度，适应不同应用场景
参数规格
系统模块 | 类别 | 配置信息 | |||
| 镜筒模块 | 主镜简 | 大视野镜简 | 高分辨率镜筒 | LCD镜筒 | |
光路数 | 单/双光路 | 单光路 | |||
适配相机 | 芯片长度/对角线40mm | 芯片长度/对角线40mm | |||
工作波长范围 | 430-670nm | 420-1300nm | |||
管镜焦距 | 180 | 200 | |||
物镜模块 | 大视野物镜 | 2X/5X/10X/20X | |||
高分辨率物镜 | 5X/10X/20X | ||||
近红外物镜 | 5X/10X/20X/50X | ||||
标准物镜 | 2X/5X/10X/20X/50X | ||||
对焦模块 | 激光对焦 | 对焦方式 | 同轴激光自动对焦系统 | ||
对焦精度 | 静态：1/4物镜景深、动态：1/2物镜景深 | ||||
对焦速度 | 首次对焦时间小于10ms,后续实时追焦 | ||||
图像对焦 | 对集方式 | 与成像相机共用光路 | |||
对焦精度 | 1/3倍物镜景深 | ||||
对焦速度 | 对焦速度可达2500um/s,常规对焦时间0.3s-1s | ||||
Z轴模块 | 整体式 | 整套系统重量小于9kg、重复定位精度土0.5um、行程±25mm | |||
分离式 | 整套系统重量大于9kg、重复定位精度土0.15um、行程±5mm | ||||
切换器模块 | 推拉式 | 高精度版本：重复定位精度：±0.15um、切换速度：60-100mm/s、支持2-7孔物镜切换 | |||
低精度版本：重复定位精度：±2um、切换速度：10-20mm/s、支持2-7孔物镜切换 | |||||
转盘式 | 重复定位精度：±2um、切换速度：60-100mm/s、支持2-7孔孔物镜切换 | ||||
DIC转盘式 | 重复定位精度：±2um、切换速度：60-100mm/s、支持5-6孔物镜切换，带DIC功能 | ||||
光源模块 | 明场 | 内置集成LED明场照明/外置点状光纤明场照明 | |||
暗场 | 外置环形光纤暗场照明 | ||||
对焦模块
激光对焦
■ 将激光器、光学、运动控制、算法处理集于一体
■ 最大5000HZ 对焦频率，可对移动与静止的产品表面进行高速实时追焦
■ 高速以太网通讯，抗干扰性提供工业级可靠性
■ 可广泛应用于无图晶圆、有图晶圆、面板领域
技术指标
类别 | LAW6 | LAW7 |
激光波长(nm) | 660 | 785 |
激光安全等级 | 3B级 | |
通讯方式 | 千兆网口 | |
结构光模式 | 线段 | |
对焦方式 | 同轴激光自动对焦系统 | |
对焦速度 | 首次对焦时间小于10ms,后续实时追焦 | |
内部更新频率(HZ) | 5000(Max) | |
静态对焦精度 | 1/4物镜DOF | |
动态对焦精度 | 1/2物镜DOF | |
工作温度 | 0-50℃ | |
外形尺寸(mm) | 56.5×78.45×159 | |
供电及功耗 | +12V直流供电功耗4.2W | |
重量(g) | 792 | |
样品反射率 | 19%-99% | |
对焦工作范围(um) | 40000(2X物镜) | |
12000(5X物镜) | ||
4000(10X物镜) | ||
1500(20×物镜) | ||
500(50X物镜) | ||
单片晶圆的扫描时间
倍率 | 大视野2X | 大视野5X | 大视野10X |
线阵相机 | 8K/5um 250K行频TDI线阵相机 | 8K/5um 250K行频TDI线阵相机 | 8K/5um 250K行频TDI线阵相机 |
运动速度 | 600mm/s | 250mm/s | 125mm |
成像精度 | 2.5um | lum | 0.5um |
有效视野 | 18mm | 7.2mm | 3.6mm |
扫描时间 | 4寸：10s | 4寸：20s | 4寸：40s |
6寸：15s | 6寸：30s | 6寸：70s | |
8寸：20s | 8寸：40s | 8寸：125s | |
12寸：30s | 12寸：75s | 12寸：270s |
说明：
1、运动速度指不同倍率在对应速度下均能稳定成像，无失焦现象
2、因为相机行频已经满载，以上速度不是自动追焦系统的极限
3、扫描时间只包含采图过程，不包含上下料和图像算法处理时间
应用案例
品牌
中科慧仪
功能简介
■ 最大支持像方40mm, 完美适配8K/5um和65M相机 ■ 高分辨率显微系统，物方最高分辨率可达0.4um ■ 集成同轴激光追焦系统，可实现对高速运动成像实时对焦 ■ 可选配高速图像对焦系统，解决复杂背景情况下激光无法准确聚焦的问题 ■ 推拉式高精度切换器也可支持像方40mm大视野 ■ 可定制暗场照明角度，适应不同应用场景
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